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空中搬運車.pdf

關 鍵 詞:
空中 搬運車
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摘要
申請專利號:

CN201280023186.1

申請日:

2012.03.02

公開號:

CN103534798A

公開日:

2014.01.22

當前法律狀態:

終止

有效性:

無權

法律詳情: 未繳年費專利權終止IPC(主分類):H01L 21/677申請日:20120302授權公告日:20160106終止日期:20170302|||授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 21/677申請日:20120302|||公開
IPC分類號: H01L21/677; B61B3/02; B61B13/06; B65G1/04; B65G49/07 主分類號: H01L21/677
申請人: 村田機械株式會社
發明人: 藤原佑輔; 椿達雄
地址: 日本京都府
優先權: 2011.05.17 JP 2011-110330
專利代理機構: 北京市金杜律師事務所 11256 代理人: 陳偉;金楊
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201280023186.1

授權公告號:

|||||||||

法律狀態公告日:

2018.03.20|||2016.01.06|||2014.02.26|||2014.01.22

法律狀態類型:

專利權的終止|||授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

空中搬運車(1)具備:主體部(4),其收納被搬運物(30)并沿著行駛軌道(3)行駛;升降機構(6),其具有保持被搬運物(30)的保持部(8)和相對于收納被搬運物(30)的規定位置P使保持部(8)升降的升降部(7);蓋落下防止部件(20),其在保持部(8)配置于位置P時與被搬運物(30)的蓋(31)相對;和移動機構(10)。移動機構(10)以當保持部(8)配置在位置P時落下蓋落下防止部件(20)配置在防止位置、當保持部(8)相對于位置P升降時蓋落下防止部件(20)配置在退避位置的方式,從動于保持部(8)的升降動作而使蓋落下防止部件(20)移動。

權利要求書

權利要求書
1.  一種空中搬運車,該空中搬運車將安裝有拆裝自如的蓋的被搬運物沿著搬運路徑搬運,其特征在于,包括:
主體部,所述主體部收納所述被搬運物并沿著所述搬運路徑行駛;
升降機構,所述升降機構具有保持所述被搬運物的保持部、以及相對于收納所述被搬運物的規定位置使所述保持部升降的升降部
蓋落下防止部件,所述蓋落下防止部件在所述保持部配置于所述規定位置時與所述蓋相對;和
移動機構,所述移動機構以當所述保持部配置于所述規定位置時所述蓋落下防止部件配置在防止所述蓋落下的第1位置、當所述保持部相對于所述規定位置升降時所述蓋落下防止部件配置在比所述第1位置離所述蓋遠的第2位置的方式,從動于所述保持部的升降動作而使所述蓋落下防止部件移動。

2.  如權利要求1所述的空中搬運車,其特征在于,
所述移動機構具有:安裝有所述蓋落下防止部件并在前進位置與后退位置之間擺動的第1擺動部;和與所述第1擺動部連結并在上升位置與下降位置之間擺動的第2擺動部,
當所述保持部上升以所述規定位置為基點的規定的距離時,所述第2擺動部從所述下降位置向所述上升位置擺動,并且所述第1擺動部從所述后退位置向所述前進位置擺動,由此所述蓋落下防止部件從所述第2位置向所述第1位置移動,
當所述保持部下降所述規定的距離時,所述第2擺動部從所述上升位置向所述下降位置擺動,并且所述第1擺動部從所述前進位置向所述后退位置擺動,由此所述蓋落下防止部件從所述第1位置向所述第2位置移動。

3.  如權利要求1或2所述的空中搬運車,其特征在于,
所述移動機構以在外力朝著所述第2位置而作用于配置在所述第1位置的所述蓋落下防止部件上的情況下所述蓋落下防止部件向所述第2 位置側僅移動規定的量的方式,支承所述蓋落下防止部件,
所述移動機構具有檢測所述蓋落下防止部件的向所述第2位置側的位移的位移檢測部。

4.  如權利要求1至3的任一項所述的空中搬運車,其特征在于,
所述蓋落下防止部件中至少與所述蓋相對的部分由具有撓性的片狀部件構成。

說明書

說明書空中搬運車
技術領域
本發明涉及在例如清潔室中將安裝有拆裝自如的蓋的被搬運物(收納有多枚半導體晶片的晶片盒等)沿著搬運路徑進行搬運的空中搬運車。
背景技術
作為以往的空中搬運車,公知有例如專利文獻1所記載的空中搬運車。在專利文獻1所記載的空中搬運車中,在收納被搬運物而進行搬運時,通過蓋落下防止部件防止蓋從被搬運物落下。該蓋落下防止部件通過執行機構而轉動,使得在被搬運物被收納時該蓋落下防止部件位于被搬運物的蓋的前方,在被搬運物被升降時該蓋落下防止部件從被搬運物的蓋的前方退避。
在先技術文獻
專利文獻1:國際公開第2009/141976號
通過上述的空中搬運車,能夠防止在被搬運物的搬運時蓋落下,還能夠防止在被搬運物的升降時阻礙升降動作,但是,為了使蓋落下防止部件轉動,需要專用的執行機構。因此,特別是在比較小型的空中搬運車中,一直尋求結構的簡化。
發明內容
因此,本發明的目的在于提供一種空中搬運車,該空中搬運車能夠以簡易的結構來防止在被搬運物的搬運時作為被搬運物的一部分的蓋落下,并能夠防止在被搬運物的升降時升降動作受到阻礙。
本發明的空中搬運車是一種將安裝有拆裝自如的蓋的被搬運物沿著搬運路徑搬運的空中搬運車,其特征在于,包括:主體部,該主體部收納被搬運物并沿著搬運路徑行駛;升降機構,該升降機構具有保持被 搬運物的保持部、以及相對于收納被搬運物的規定位置使保持部升降的升降部;蓋落下防止部件,該蓋落下防止部件在保持部配置于規定位置時與蓋相對;和移動機構,該移動機構以當保持部配置于規定位置時蓋落下防止部件配置在防止蓋落下的第1位置、當保持部相對于規定位置升降時蓋落下防止部件配置在比第1位置離蓋遠的第2位置的方式,從動于保持部的升降動作而使蓋落下防止部件移動。
在該空中搬運車中,在保持被搬運物的保持部被配置于規定位置時,蓋落下防止部件配置在防止蓋落下的第1位置。由此,能夠防止在被搬運物的搬運時蓋落下。另一方面,在保持被搬運物的保持部相對于規定位置升降時,蓋落下防止部件配置在比第1位置離蓋遠的第2位置。由此,能夠防止在被搬運物的升降時升降動作受到阻礙。而且,移動機構從動于保持部的升降動作而在第1位置與第2位置之間使蓋落下防止部件移動。由此,通過該空中搬運車,能夠通過簡易的結構來防止在被搬運物的搬運時蓋落下,還能夠防止在被搬運物的升降時升降動作受到阻礙。
另外,在本發明的空中搬運車中,也可以是,移動機構具有:安裝有蓋落下防止部件并在前進位置與后退位置之間擺動的第1擺動部;和與第1擺動部連結并在上升位置與下降位置之間擺動的第2擺動部,當保持部上升以規定位置為基點的規定的距離時,第2擺動部從下降位置向上升位置擺動,并且第1擺動部從后退位置向前進位置擺動,由此蓋落下防止部件從第2位置向第1位置移動,當保持部下降規定的距離時,第2擺動部從上升位置向下降位置擺動,并且第1擺動部從前進位置向后退位置擺動,由此蓋落下防止部件從第1位置向第2位置移動。通過該結構,能夠謀求移動機構的結構簡化,使移動機構的機械性動作的可靠性提高。
另外,在本發明的空中搬運車中,也可以是,移動機構以在外力朝著第2位置而作用于配置在第1位置的蓋落下防止部件上的情況下蓋落下防止部件向第2位置側僅移動規定的量的方式,支承蓋落下防止部件,移動機構具有檢測蓋落下防止部件的向第2位置側的位移的位移檢 測部。通過該結構,一旦在例如搬運時蓋就要從被搬運物脫落,配置在第1位置的蓋落下防止部件就會向第2位置側移動。此時,通過位移檢測部能夠檢測出蓋落下防止部件的向第2位置側的位移,所以能夠知曉蓋就要從被搬運物脫落的情況。由此,能夠迅速地采取使蓋眼看就要脫落的狀態下的空中搬運車的行駛中止、使被搬運物的搬運停止并將蓋重新蓋在被搬運物上的措施。
另外,在本發明的空中搬運車中,蓋落下防止部件中至少與蓋相對的部分也可以由具有撓性的片狀部件構成。通過該結構,在設置蓋落下防止部件時,能夠抑制蓋落下防止部件從主體部突出。另外,即使蓋從被搬運物脫落,也能夠可靠地承擋蓋。進一步講,即使蓋落下防止部件萬一與外部設備等接觸,也由于蓋落下防止部件容易變形而能夠防止給外部設備等帶來損傷。
發明的效果
根據該結構,能夠以簡易的結構迅速地檢測到在被搬運物的搬運時蓋就要脫落的情況并能夠防止蓋落下,還能夠防止在被搬運物的升降時升降動作受到阻礙。
附圖說明
圖1是本發明的一實施方式的空中搬運車的側視圖。
圖2是沿著圖1的II-II線的空中搬運車的剖視圖。
圖3是表示在圖2的空中搬運車中正在使被搬運物升降的狀態的圖。
圖4是圖2的空中搬運車的主要部分放大圖。
具體實施方式
以下,關于本發明的優選實施方式,參照附圖進行詳細說明。另外,在各圖中對于相同或者相當部分標注相同的符號,并省略重復的說明。
如圖1所示,空中搬運車1沿著行駛軌道(搬運路徑)3搬運被搬運物30。行駛軌道3經由支柱2而設置在用于制造半導體器件的清潔室 的天花板上。另外,被搬運物30為收納有多枚半導體晶片的晶片盒(所謂的FOUP(Front Opening Unified Pod,正面開口標準箱))。在被搬運物30的側面安裝有用于半導體晶片出入的拆裝自如的蓋31。另外,在被搬運物30的上表面設有由空中搬運車1保持的凸緣部32。
空中搬運車1包括收納被搬運物30并沿著行駛軌道3行駛的主體部4。主體部4經由行駛部5而懸吊于行駛軌道3。行駛部5具有與行駛軌道3的內表面接觸的驅動輪以及導向輪,通過這些結構使主體部4沿著行駛軌道3行駛。另外,行駛部5具有位于行駛軌道3內的電磁線圈單元,由此,從鋪設于行駛軌道3內的高頻電流線以無接觸的方式接受電力的供給。
主體部4具有安裝有行駛部5的基架4a。基架4a的在搬運方向A上的前側及后側分別以向下方延伸的方式設有前架4b以及后架4c。被搬運物30以蓋31相對于搬運方向A朝向側方的狀態被收納在前架4b與后架4c之間。另外,在以下的說明中,將蓋31相對于搬運方向A所朝向側稱為“一方側”,將其相反側稱為“另一方側”。
在基架4a上安裝有升降機構6。升降機構6具有升降部7及保持部8。保持部8通過把持凸緣部32而保持被搬運物30。另外,升降部7使保持部8相對于收納被搬運物30的規定位置P升降。更具體地說,升降部7通過同步抽出多根皮帶9而使安裝于皮帶9的端部的保持部8從位置P下降。另一方面,升降部7通過同步卷繞多根皮帶9而使安裝于皮帶9的端部的保持部8上升到位置P。另外,在基架4a上,有時設置使升降部7相對于搬運方向A向一方側及另一方側移動的橫向進給部、和在水平面內使升降部7轉動的θ轉角驅動器等。
基于以上結構,空中搬運車1如下述那樣動作。即,空中搬運車1停止于搬運起點(例如半導體處理裝置)的端口的上方,利用升降機構6使配置于該端口上的被搬運物30上升并收納于主體部4中。接下來,空中搬運車1沿著行駛軌道3搬運被搬運物30。接著,空中搬運車1停止于搬運目的地(例如半導體處理裝置)的端口的上方,利用升降機構6使收納于主體部4中的被搬運物30下降,并配置在該端口上。
如圖1以及圖2所示,空中搬運車1包括:在保持部8被配置在了規定位置P時與被搬運物30的蓋31相對的蓋落下防止部件20;和從動于保持部8的升降動作而使蓋落下防止部件20移動的移動機構10。蓋落下防止部件20為具有撓性的片狀部件(例如,特氟龍(注冊商標)薄片等氟樹脂的樹脂薄片等),其以沿著搬運方向A橫貫蓋31正面的方式由移動機構10支撐。
移動機構10具有相對于搬運方向A從一方側向另一方側延伸的擺動臂(第2擺動部)11。擺動臂11以隔著配置于規定位置P的保持部8的方式設有一對且設在各個架4b,4c的內側。各擺動臂11的一端部11a由立設于各架4b,4c上的軸12支承并能夠自由轉動。另外,在各擺動臂11的另一端部11b,承受部13以向內側延伸的方式而設置。在保持部8被配置于位置P時,保持部8的上表面8a抵接于各擺動臂11的承受部13。各擺動臂11以軸12為中心在上升位置與下降位置之間擺動,在所述上升位置,承受部13的位置為位置P,在所述下降位置,承受部13的位置比位置P靠下側。另外,在保持部8配置在位置P時,承受部13的下表面及保持部8的上表面8a的位置與位置P大致一致。
擺動臂(第1擺動部)14以向下側延伸的方式連結在各擺動臂11的一端部11a。各擺動臂14以軸12為中心在前進位置和后退位置之間擺動,在所述前進位置,擺動臂11的位置為上升位置,在所述后退位置,擺動臂11的位置為下降位置。
在各擺動臂14上安裝有蓋落下防止部件20。更具體地說,對蓋落下防止部件20的搬運方向A上的兩端部實施彎曲加工,并將該兩端部固定于各擺動臂14。蓋落下防止部件20以軸12為中心在落下防止位置(第1位置)和退避位置(第2位置)之間擺動,在所述落下防止位置(第1位置),擺動臂11、14的位置為上升位置和前進位置;在所述退避位置(第2位置),擺動臂11、14的位置為下降位置和后退位置。另外,落下防止位置是以蓋落下防止部件20中與蓋31相對的部分距蓋31的表面的距離為例如數mm程度的方式來防止蓋31落下的位置。另外,退避位置是比落下防止位置離蓋31遠的位置。
如上所述那樣構成的移動機構10以及蓋落下防止部件20的動作如下所述。即,如圖2以及圖3所示,在保持部8要從規定位置P下降的情況下,當保持部8下降以位置P為基點的規定的距離D時,擺動臂11由于自重而從上升位置向下降位置下降,伴隨于此,擺動臂14從前進位置向后退位置后退。由此,蓋落下防止部件20從落下防止位置向退避位置移動。即,在保持部8下降以位置P為基點的規定的距離D時,擺動臂11從上升位置向下降位置擺動,并且擺動臂14從前進位置向后退位置擺動,由此蓋落下防止部件20從落下防止位置向退避位置移動。
另一方面,在保持部8要上升到規定位置P的情況下,當保持部8上升以位置P為基點的規定的距離D時,承受部13被保持部8推起從而擺動臂11從下降位置向上升位置上升,伴隨于此,擺動臂14從后退位置向前進位置前進。由此,蓋落下防止部件20從退避位置向落下防止位置移動。即,在保持部8上升以位置P為基點的規定的距離D時,擺動臂11從下降位置向上升位置擺動并且擺動臂14從后退位置向前進位置擺動,由此蓋落下防止部件20從退避位置向落下防止位置移動。
如上所述,移動機構10從動于保持部8的升降動作而使蓋落下防止部件20移動,使得當保持部8配置于位置P時蓋落下防止部件20配置于落下防止位置,當保持部8相對于位置P升降時蓋落下防止部件20配置于退避位置。
接下來,對移動機構10的擺動臂14進行更詳細說明。如圖4所示,擺動臂14具有連結于擺動臂11的一端部11a處的基端側部分15、以及固定有蓋落下防止部件20的前端側部分16。基端側部分15和前端側部分16由軸17連接并能夠轉動自如。但是,前端側部分16相對于基端側部分15的轉動范圍由轉動限制部件25、26限制。
即,在設于基端側部分15的轉動限制部件25上,以向著前端側部分16凸出的方式以規定的角度形成端面25a,25b。另一方面,在設于前端側部分16的轉動限制部件26上形成有端面26a,并使得該端面26a通過以軸17為中心的轉動而抵接在轉動限制部件25的各端面25a,25b上。由此,前端側部分16在端面26a抵接在端面25a上的狀態(蓋落 下防止部件20配置在落下防止位置的狀態)和端面26a抵接在端面25b上的狀態(蓋落下防止部件20配置在比落下防止位置靠外側處的狀態)之間相對于基端側部分15轉動。
在基端側部分15及前端側部分16上分別固定有托架18、19,在托架18,19之間架設有拉伸彈簧21。由此,前端側部分16相對于基端側部分15以使得成為端面26a抵接在端面25a上的狀態的方式被施力。另外,在基端側部分15上固定有光斷續器等具有發光部以及受光部的位移檢測部22,在前端側部分16上固定有遮光板23。由此,一旦前端側部分16以使得成為端面26a抵接在端面25b上的狀態的方式相對于基端側部分15轉動,則遮光板23就會遮擋位移檢測部22的光路(從發光部到受光部的光路)。
如上所述,移動機構10以在外力朝著退避位置作用于配置在落下防止位置的蓋落下防止部件20上的情況下蓋落下防止部件20向退避位置側僅移動規定的量的方式支承著蓋落下防止部件20。而且,在蓋落下防止部件20向退避位置側僅移動規定的量的情況下,由遮光板23遮擋位移檢測部22的光路,因此位移檢測部22檢測出蓋落下防止部件20向退避位置側的位移。
如以上說明,在空中搬運車1中,當保持著被搬運物30的保持部8配置在規定位置P時,蓋落下防止部件20被配置在防止蓋31落下的落下防止位置。由此,能夠防止在被搬運物30的搬運時蓋31落下的情況。另一方面,在使保持著被搬運物30的保持部8相對于規定位置P升降時,蓋落下防止部件20被配置在比落下防止位置離蓋遠的退避位置。由此,能夠防止在被搬運物30的升降時升降動作受到阻礙。而且,移動機構10從動于保持部8的升降動作而使蓋落下防止部件20在落下防止位置與退避位置之間移動。由此,通過空中搬運車1,能夠以簡易的結構防止在被搬運物30的搬運時蓋31落下的情況,還能夠防止在被搬運物30的升降時升降動作受到阻礙。而且,不需要用于使蓋落下防止部件20動作的專用執行機構等,所以能夠在空中搬運車1中謀求省力。
另外,在空中搬運車1中,即使在沒有通過保持部8保持被搬運物 30時,只要保持部8被配置在規定位置P,蓋落下防止部件20就會被配置在落下防止位置。由此,在空中搬運車1不收納被搬運物30而以空載狀態沿著行駛軌道3行駛的情況下,能夠防止蓋落下防止部件20與外部設備等接觸這樣的事態。另外,即使在沒有通過保持部8保持被搬運物30時,只要保持部8相對于規定位置P升降,蓋落下防止部件20就會被配置在退避位置。由此,在使沒有保持被搬運物30的保持部8升降的情況下,能夠防止保持部8的升降動作受到阻礙。
另外,移動機構10采用擺動臂11、14而實現了從動于保持部8的升降動作的、蓋落下防止部件20的移動。由此,在空中搬運車1中,能夠謀求移動機構10的結構簡化,能夠提高移動機構10的機械動作的可靠性。
另外,移動機構10以在外力朝著退避位置作用于配置在落下防止位置的蓋落下防止部件20上的情況下蓋落下防止部件20向退避位置側僅移動規定的量的方式支承著蓋落下防止部件20。而且,移動機構10具有檢測蓋落下防止部件20向退避位置側的位移的位移檢測部22。由此,如圖4所示,一旦在例如搬運時蓋31欲從被搬運物30脫落,配置在落下防止位置的蓋落下防止部件20就會向退避位置側移動。此時,通過位移檢測部22能夠檢測出蓋落下防止部件20向退避位置側的位移,所以能夠知曉蓋31就要從被搬運物30脫落。由此,能夠迅速地采取使蓋31眼看就要脫落的狀態下的被搬運物30的行駛中止、使被搬運物30的搬運停止并將蓋31重新蓋在被搬運物30上這些措置。
再者,蓋落下防止部件20中至少與被搬運物30的蓋31相對的部分由具有撓性的片狀部件構成。由此,在設置蓋落下防止部件20時,能夠抑制蓋落下防止部件20從主體部4突出。另外,即使蓋31從被搬運物30脫落,也能夠可靠地承擋住蓋31。進一步講,即使蓋落下防止部件20萬一與外部設備等接觸,也會由于蓋落下防止部件20容易變形而能夠防止給外部設備等帶來損傷。
以上,對本發明的一個實施方式進行了說明,但本發明并不限定于上述實施方式。例如,移動機構10只要是以保持部8配置在位置P時 蓋落下防止部件20配置在落下防止位置(第1位置)且保持部8相對于位置P升降時蓋落下防止部件20配置在退避位置(第2位置)的方式從動于保持部8的升降動作而使蓋落下防止部件20移動的結構即可,并不限于采用擺動臂11、14的結構,也可以是采用其他的連桿機構等的結構。作為一例,移動機構10也可以將由片狀部件構成的蓋落下防止部件20通過緊固而配置在落下防止位置,并通過將這樣的蓋落下防止部件20松開而將其配置在退避位置。
另外,空中搬運車1并不限于沿著設置在用于制造半導體器件的清潔室的行駛軌道3來搬運被搬運物30,被搬運物30并不限于收納有多枚半導體晶片的晶片盒。而且,在空中搬運車1以及被搬運物30的構成部件的材料及形狀中,并不限于前述的材料及形狀,能夠適用各種各樣的材料及形狀。
工業實用性
根據本發明,能夠以簡易的結構迅速地檢測出在被搬運物的搬運時蓋就要脫落的情況并能夠防止蓋落下,還能夠防止在被搬運物的升降時升降動作受到阻礙。
附圖標記說明
1…空中搬運車,3…行駛軌道(搬運路徑),4…主體部,6…升降機構,7…升降部,8…保持部,10…移動機構,11…擺動臂(第2擺動部),14…擺動臂(第1擺動部),20…蓋落下防止部件,22…位移檢測部,30…被搬運物,31…蓋。

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