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一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510865214.X

申請日:

2015.12.01

公開號:

CN106813656A

公開日:

2017.06.09

當前法律狀態:

公開

有效性:

審中

法律詳情: 公開
IPC分類號: G01C19/5776(2012.01)I 主分類號: G01C19/5776
申請人: 史樹元
發明人: 史樹元
地址: 110179 遼寧省沈陽市渾南新區渾南三路28號沈陽龍成硅谷網絡有限公司
優先權:
專利代理機構: 代理人:
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510865214.X

授權公告號:

法律狀態公告日:

2017.06.09

法律狀態類型:

公開

摘要

一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其結構簡單,僅用一個傳感器就可以產生三個軸的角速度信號,體積小巧。另外,該類型的陀螺儀諧振頻率通常也比較高,不存在音頻干擾的問題,方便客戶使用。基于這些特點,PZT型MEMS陀螺儀應用前景廣闊,是未來MEMS陀螺儀發展的一個重要方向。

權利要求書

1.一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其特征是:所述陀螺儀的前端電路的第一級將MEMS所產生的電荷信號轉化成電路可以處理的電壓信號,該電壓信號經過第二級電路的運算、放大和平衡處理后再送往第三級電路;第三級電路集高通濾波器和放大功能于一體。2.根據權利要求1所述的一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其特征是:所述陀螺儀的前端電路的第一級電路是利用Q=C*V的原理來工作的,假定運放是理想的,并且輸人電容為O,那么來自MEMS的電荷信號通過電容后將在輸出端全部轉換成電壓信號。3.根據權利要求1所述的一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其特征是:由于共振模式和檢測模式時電荷的變化相差幾個數量級,C取得太小,容易使運放進人飽和模式而無法正常工作;C取的太大的話,檢測模式時信號會太小,對噪聲要求會很高,所以需要綜合考慮這些因素選擇合適的C值,本發明采用的是幾十個pF的電容;其中的R網路的T型結構來實現一個很大的交流電阻。4.根據權利要求1所述的一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其特征是:由于XlO和X20通道上存在差異,Y10和Y20通道上存在差異,第二級電路增加了平衡電路,通過調整平衡電路使得電路在共振模式且沒有角速度信號輸入時,檢測到的角速度信號小到可以忽略的地步。5.根據權利要求1所述的一種多軸PZT墨MEMS陀螺儀及其前端電路,其特征是:所述第三級電路是高通濾波器,由于信號頻率在幾十KHz的數量級上,我們將高通濾波器的截止頻率設置為7KHz附近,該高通濾波器可以將來自前面電路的低頻噪聲濾除很大一部分,可以降低后續電路對噪聲的要求,降低設計難度。

關 鍵 詞:
一種 PZT MEMS 陀螺儀 及其 前端 電路
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