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一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510967716.3

申請日:

2015.12.22

公開號:

CN105467546A

公開日:

2016.04.06

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G02B 7/00申請日:20151222|||公開
IPC分類號: G02B7/00; G03F7/20 主分類號: G02B7/00
申請人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
發明人: 郭抗; 陳華男; 倪明陽; 董世則; 隋永新; 楊懷江
地址: 130033吉林省長春市東南湖大路3888號
優先權:
專利代理機構: 長春菁華專利商標代理事務所22210 代理人: 劉慧宇
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510967716.3

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2017.12.26|||2016.05.04|||2016.04.06

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置,屬于光刻物鏡結構設計與裝調技術領域,為了解決現有技術存在的光學元件微動調整裝置在保證光學元件極高調整精度的同時,裝置的制造與裝配困難的問題,本裝置包括支撐鏡框、微動調整機構、三個微位移驅動器、三個微位移驅動器連接座、三個微位移傳感器及三個微位移傳感器連接座,支撐鏡框用于支撐光學元件,支撐鏡框連接在微動調整機構上;三個微位移驅動器通過微位移驅動器連接座均勻分布連接在微動調整機構圓周側壁內部;三個微位移傳感器通過微位移傳感器連接座連接在微動調整機構上,在圓周方向每個微位移傳感器設置在兩個微位移驅動器的中間位置;微動調整機構為一體化結構,裝配簡單。

權利要求書

1.一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置,其特征是,該裝置包括支
撐鏡框(2)、微動調整機構(3)、三個微位移驅動器(4)、三個微位移驅動器
連接座(5)、三個微位移傳感器(7)及三個微位移傳感器連接座(6);
所述支撐鏡框(2)用于支撐光學元件(1),所述支撐鏡框(2)連接在微
動調整機構(3)上;所述三個微位移驅動器(4)通過微位移驅動器連接座(5)
均勻分布連接在微動調整機構(3)圓周側壁內部;
所述三個微位移傳感器(7)通過微位移傳感器連接座(6)連接在微動調
整機構(3)上,在圓周方向每個微位移傳感器(7)設置在兩個微位移驅動器
(4)的中間位置。
2.根據權利要求1所述的一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置,其
特征在于,所述微動調整機構(3)為具有側壁和圓環面的一體化結構,在圓環
面上至少具有三條連接圓環(3-1),內側連接圓環(3-1)和外側連接圓環(3-1)
寬度均為d1,中間的連接圓環(3-1)寬度均為d2,且d1>d2;相鄰所述連接圓
環(3-1)之間具有相同寬度的狹縫(3-3),狹縫(3-3)所在的同心圓上設置多
個連接橋(3-2),相鄰狹縫(3-3)所在同心圓上的連接橋(3-2)與之相互交錯
均勻分布;
支撐鏡框(2)設置在內側的連接圓環(3-1);
每個微位移驅動器(4)的輸出軸連接在內側的連接圓環(3-1)上;
每個微位移傳感器(7)與內側的連接圓環(3-1)相對應。
3.根據權利要求1或2所述的一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置,
其特征在于,微位移驅動器(4)可采用氣動式、壓電式和磁滯伸縮式驅動方式。
4.根據權利要求1或2所述的一種狹縫柔性結構的光學元件微動調整裝置,
其特征在于,所述微位移傳感器(7)可采用電容式、光柵式和光纖式測量方式。

關 鍵 詞:
一種 狹縫 柔性 結構 光學 元件 微動 調整 裝置
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