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直接曝光裝置.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510617271.6

申請日:

2015.09.24

公開號:

CN105467773A

公開日:

2016.04.06

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/20申請日:20150924|||公開
IPC分類號: G03F7/20 主分類號: G03F7/20
申請人: 株式會社ORC制作所
發明人: 橋本典夫; 森田亮
地址: 日本東京都
優先權: 2014-196543 2014.09.26 JP; 2014-196544 2014.09.26 JP
專利代理機構: 北京三友知識產權代理有限公司11127 代理人: 李輝; 黃綸偉
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510617271.6

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.10.09|||2017.10.20|||2016.04.06

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

直接曝光裝置,在將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長條狀工件的直接曝光裝置中,能夠在抑制曝光輥直徑增大的同時,擴大曝光圖像的焦點對準區,并使描繪圖案的線條變細。該直接曝光裝置具有:圓筒部件,其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間,在其周面的一定范圍內保持長條狀工件的同時進行旋轉;引導構件,其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處,沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導長條狀工件;以及曝光構件,其在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內,對從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長條狀工件描繪圖案。

權利要求書

1.一種直接曝光裝置,其使用了光調制元件陣列,將圖案曝光于從供給卷軸送
出并被卷繞到卷繞卷軸上的長條狀工件,所述直接曝光裝置的特征在于,具有:
圓筒部件,其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間,在其周面的一定范圍內保持長條
狀工件的同時進行旋轉;
切線方向引導構件,其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處,沿與上
述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導長條狀工件;以及
第1曝光構件,其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內,對從
上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長條狀工件描繪圖案。
2.根據權利要求1所述的直接曝光裝置,其中,
在上述前后一定范圍內,從脫離位置到輸送方向下游側的范圍比從脫離位置到輸
送方向上游側的范圍寬。
3.根據權利要求1所述的直接曝光裝置,其中,
拍攝形成于上述長條狀工件的對準標記的對準相機配置在隔著上述圓筒部件而
與上述曝光構件相對的位置處。
4.根據權利要求3所述的直接曝光裝置,其中,
上述第1曝光構件的光軸和對準相機的光軸朝向鉛垂方向。
5.根據權利要求3所述的直接曝光裝置,其中,
上述圓筒部件至少在上述第1曝光構件的曝光位置和上述對準相機的拍攝位置
處,將上述長條狀工件保持在其周面上。
6.根據權利要求1所述的直接曝光裝置,其中,
所述直接曝光裝置還具有:平面引導構件,其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離
的脫離位置的下游側,在長條狀工件不與引導面接觸的狀態下將該長條狀工件支撐為
平面狀;以及第2曝光構件,其在上述平面引導構件上,對上述長條狀工件進行曝光。
7.根據權利要求6所述的直接曝光裝置,其中,
上述第2曝光構件的曝光區跨越上述長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位
置和平面引導構件上的位置。
8.根據權利要求6所述的直接曝光裝置,其中,
上述第1曝光構件的曝光區和第2曝光構件的曝光區存在于大致同一平面上。
9.根據權利要求6所述的直接曝光裝置,其中,
上述平面引導構件是具有氣體吹出構件和氣體抽吸構件的懸浮抽吸引導構件。

說明書

直接曝光裝置

技術領域

本發明涉及所謂的卷對卷方式的直接曝光裝置,在從供給卷軸送出并被卷繞卷軸
卷繞的長條狀工件的輸送中,對其正反的一個面描繪圖案。

背景技術

通常,作為用于移動電話和移動設備等的電子電路基板(印刷電路基板)的基底
材料,例如使用將厚度為0.1mm以下且長度為500mm以上(例如,100m)的長條
狀工件(感光性長條膜(在正反的至少一個面上涂覆感光體而成的合成樹脂制柔軟
膜))形成為卷狀的工件。此外,近年來,不使用轉印掩模地將描繪光直接照射到基
板而描繪出圖案的直接曝光裝置在市場中涌現出,對長條狀工件也采用這種曝光方式
的要求日益強烈。

作為這種卷對卷方式的直接曝光裝置,為了進行連續的長條狀工件的輸送和曝
光,公知有如下的直接曝光裝置:利用位于供給卷軸與卷繞卷軸之間的平板狀的輸送
機(曝光輸送機),保持長條狀工件,并在該輸送機上進行曝光(專利文獻1)。

此外,還公知有如下的直接曝光裝置:對在位于供給卷軸與卷繞卷軸之間的輥(曝
光輥)的圓筒面上行進的長條狀工件進行曝光(專利文獻2)。

【專利文獻1】日本特開2006-098720號公報

【專利文獻2】日本特開2014-035412號公報

如果對在平面狀的輸送機上進行曝光的方式與在圓筒狀的輥上進行曝光的方式
進行比較,輸送機方式在使工件的整個被曝光區域為平面狀的方面比較優異,但是,
由于流水線長度增長,曝光裝置容易大型化,并且在曝光位置處局部進行觀察的情況
下的面精度較差。與此相對,由于輥方式能夠縮短流水線長度,所以能夠實現曝光裝
置的小型化,并且在面精度(面的平滑性)和工件進給精度的方面優異。另一方面,
輥方式由于在圓筒面(曲面)上進行曝光,所以存在曝光圖像的焦點對準區窄,細線
的描繪較困難的問題。如果增大曝光輥直徑,則該問題得到緩解,但犧牲了小型化。

此外,從工件的進給精度的觀點來看,在輸送機方式中,由于輸送帶的曲折或伸
縮等影響,進給精度有可能降低。另一方面,對于輥方式,雖然在將工件吸附到輥上
的吸附區中能夠獲得較高的進給精度,但如上所述,由于吸附區不是平面(為圓筒面),
所以存在曝光圖像的焦點對準區窄的問題。

發明內容

本發明的第一目的在于獲得一種直接曝光裝置,在曝光輥方式的直接曝光裝置
中,能夠在抑制曝光輥直徑增大的同時,擴大曝光圖像的焦點對準區,并使描繪圖案
的線條變細。

此外,本發明的第二目的在于獲得一種直接曝光裝置,在吸附工件地進行移動的
輥方式的直接曝光裝置中,能夠靈活運用吸附輸送工件的圓筒部件的高進給精度,保
持工件的平面性來提高曝光圖像的精度,并使描繪圖案的線條變細。

本發明是一種直接曝光裝置,其使用了光調制元件陣列,將圖案曝光于從供給卷
軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長條狀工件,所述直接曝光裝置的特征在于,具有:
圓筒部件,其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間,在其周面的一定范圍內保持長條狀工
件的同時進行旋轉;切線方向引導構件,其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離
位置處,沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導長條狀工件;
以及第1曝光構件,其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內,對從
上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長條狀工件描繪圖案。

優選為在上述前后一定范圍內,從脫離位置到輸送方向下游側的范圍比從脫離位
置到輸送方向上游側的范圍寬。

本發明的直接曝光裝置還優選為,拍攝形成于上述長條狀工件的對準標記的對準
相機配置在隔著上述圓筒部件而與上述曝光構件相對的位置處。

還優選為,曝光構件的光軸和對準相機的光軸朝向鉛垂方向。

上述圓筒部件優選至少在上述曝光構件的曝光位置和上述對準相機的拍攝位置
處,將上述長條狀工件保持在其周面上。

本發明還優選為,具有:圓筒部件,其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間,在其周
面的一定范圍內保持長條狀工件的同時進行旋轉;平面引導構件,其在長條狀工件從
上述圓筒部件脫離的脫離位置的下游側,在長條狀工件不與引導面接觸的狀態下將該
長條狀工件支撐為平面狀;以及第2曝光構件,其在上述平面引導構件上,對上述長
條狀工件描繪圖案。

上述第2曝光構件的曝光區在其一個方式中,能夠跨越上述長條狀工件從上述圓
筒部件脫離的脫離位置和平面引導構件上的位置。

上述第1曝光構件的曝光區和第2曝光構件的曝光區實際上位于大致同一平面
上。

具體而言,上述引導構件例如能夠由具有氣體吹出構件和氣體抽吸構件的懸浮抽
吸引導構件構成。

根據本發明,是一種使用曝光輥對長條狀工件連續曝光的直接曝光裝置,同時,
在包含圓筒狀部件的脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內描繪圖案,所以切線(切
平面)方向的平面區包含在曝光區中,能夠使曝光圖像的焦點對準區比以往的曝光輥
型的直接曝光裝置寬。其結果是,能夠實現要曝光的圖案的細線條化。

此外,本發明進一步在圓筒部件的下游側配置在長條狀工件不與引導面接觸的狀
態下將該長條狀工件支撐為平面狀的引導構件,使曝光構件的針對長條狀工件的曝光
區的至少一部分位于引導構件上,由此能夠利用圓筒部件的高進給精度和引導構件對
工件的平面性保持,提高曝光圖像的精度,并使描繪圖案的線條變細,其中,該圓筒
部件在供給卷軸與卷繞卷軸之間,在其周面的一定范圍內保持長條狀工件的同時進行
旋轉。

附圖說明

圖1是示出本發明的直接曝光裝置的整體結構的側視圖。

圖2是其立體圖。

圖3是示出曝光單元的一例的立體圖。

圖4是說明長條狀工件上的單位圖案區域(對準標記)、對準相機以及曝光單元
之間的間隔例的展開圖。

圖5是示出曝光輥的詳細情況的軸垂直剖視圖。

圖6是示出相對于長條狀工件的曝光區的一例的圖。

圖7是懸浮抽吸單元單體的立體圖。

圖8是其分解立體圖。

圖9是示出曝光區中的基于光調制元件陣列的曝光狀態的示意圖。

圖10是本發明的直接曝光裝置的另一實施方式,是示出從圖1的結構中去除下
游側的曝光單元和懸浮抽吸引導單元后的實施方式的、與圖1對應的側視圖。

圖11是圖10的實施方式的與圖2對應的立體圖。

標號說明

100:直接曝光裝置;10:供給卷軸;11:卷繞卷軸;12、13、14:導輥(切線
方向引導單元);30A(30):曝光單元(曝光構件、第1曝光單元);30B(30):曝
光單元(曝光構件、第2曝光單元);36:DMD元件(光調制元件陣列);40:曝光
輥;41:多孔圓筒部件;41a:微細孔;42:中心固定體;42a:抽吸凹部;43:負壓
源;44:控制器;45:線性刻度;46:線性傳感器;50:對準相機(攝像構件);60:
懸浮抽吸引導單元(平面引導構件);61:導板;61a:引導面;61b:貫通孔(氣體
吹出構件);61c:貫通孔(氣體吸入構件);62:空氣回路主體;62a:空氣供給槽;
62b:空氣抽吸槽;63:負壓源;64:正壓源;MA:對準標記;W:長條狀工件;α:
抽吸區間。

具體實施方式

圖1、圖2是示出本發明的直接曝光裝置100的一個實施方式的整體圖。在直接
曝光裝置100中,曝光輥40位于送出被卷繞的長條狀工件(以下,簡稱作“工件”)
W的供給卷軸10與對工件W進行卷繞的卷繞卷軸11之間,在該曝光輥40的上方具
有沿工件W的輸送方向隔開的一對曝光單元(曝光構件、曝光描繪部)30A和30B,
在其下方具有對準相機50。工件W由在正反的至少一個面上涂覆感光體而成的合成
樹脂制柔軟膜構成,工件W在由供給卷軸10送出后,經過導輥12、13到達曝光輥
40,進而經過導輥(切線方向引導單元)14后被卷繞卷軸11卷繞。在曝光輥40與
導輥14之間設置有位于工件W的下表面的懸浮抽吸引導單元(平面引導構件)60。

一對曝光單元30A、30B中的下游側的曝光單元30B配置在懸浮抽吸引導單元
60上。雖然該結構有利于利用曝光輥40(圓筒部件)的高進給精度、和懸浮抽吸引
導單元60(平面引導構件)對工件W的平面性保持,提高曝光圖像的精度,使描繪
圖案的線條變細,但是,與以下特征無直接關系:使曝光輥40(圓筒部件)的切線
(切平面)方向的平面區包含在上游側的曝光單元30A的曝光區中,從而能夠使曝
光圖像的焦點對準區比以往的曝光輥型的直接曝光裝置寬。也就是說,能夠省略下游
側的曝光單元30B和懸浮抽吸引導單元60。關于該點,之后將使用附圖進行敘述。

如圖2、圖5所示,曝光輥40具有:以軸心41X為中心,由未圖示的驅動源進
行旋轉驅動的多孔圓筒部件41;以及位于該多孔圓筒部件41內的中心固定體42,在
中心固定體42的周面的一部分,形成有抽吸凹部(槽)42a,該抽吸凹部(槽)42a
對形成于多孔圓筒部件41的周面的無數微細孔(抽吸孔)41a施加負壓。經由負壓
源43和控制器(調節器)44,對抽吸凹部42a施加負壓。在對抽吸凹部42a供給了
負壓的狀態下對多孔圓筒部件41進行旋轉驅動時,在形成有抽吸凹部42a的抽吸區
間α(圖5)中,從多孔圓筒部件41的微細孔41a抽吸空氣,結果工件W被吸附保
持于多孔圓筒部件41的周面并旋轉。

確定抽吸凹部42a的抽吸區間α、以及導輥13和導輥14的位置,使得在從軸向
觀察多孔圓筒部件41時,在多孔圓筒部件41的最高位置(最上位置)和最低位置(最
下位置)之間,工件W被多孔圓筒部件41抽吸并旋轉。確定導輥13的位置,使得
工件W從與多孔圓筒部件41的徑向垂直的最下方的水平的切線(切平面)方向進入
多孔圓筒部件41(在下方的水平切線(切平面)方向與徑向的交點(相交線)處開
始抽吸保持),確定導輥14的位置,使得將工件W向與多孔圓筒部件41的徑向垂直
的最上方的水平的切線(切平面)方向排出(在上方的水平切線(切平面)方向與徑
向的交點(相交線)處結束抽吸保持)。即,抽吸凹部42a的抽吸區間α被設定在跨
越開始將工件吸附到多孔圓筒部件41的位置、和工件W從多孔圓筒部件41脫離的
位置的大致半周之間(大致180゜)。另外,工件W至少在抽吸區間α的兩端部、即
抽吸開始位置和抽吸開放位置處被多孔圓筒部件41抽吸保持即可。

如圖2示意性所示,在曝光輥40的多孔圓筒部件41的外周形成有線性刻度45,
在曝光輥40的外側固定位置配設有線性傳感器46,該線性傳感器46讀取該線性刻
度45來檢測多孔圓筒部件41的絕對旋轉位置。

懸浮抽吸引導單元60位于曝光輥40(多孔圓筒部件41)的出口(下游)側,通
過氣體的吹出和抽吸,以非接觸的方式將長條工件W支撐為平面狀,其工作原理自
身是眾所周知的。

圖7、圖8示意性示出懸浮抽吸引導單元60,懸浮抽吸引導單元60具有導板61
和空氣回路主體62。導板61具有在其平板狀的引導面61a上開口的無數貫通孔(吹
出孔)61b和貫通孔(抽吸孔)61c。空氣回路主體62呈梳齒狀,并具有其梳齒彼此
錯開地進行組合的空氣供給槽62a和空氣抽吸槽62b,空氣供給槽62a與正壓源64
連接,空氣抽吸槽62b與負壓源63連接。貫通孔61b以與空氣供給槽62a連通的方
式呈矩陣狀,貫通孔61c以與空氣抽吸槽62b連通的方式呈矩陣狀,并且空氣供給槽
62a和空氣抽吸槽62b被設置為使得吹出空氣的貫通孔61b的列和抽吸空氣的貫通孔
61c的列分別與工件W的行進方向平行。原本,吹出空氣的貫通孔和抽吸空氣的貫
通孔無需必須是列狀,能夠是繞中心的吹出孔(抽吸孔)配置多個抽吸孔(吹出孔)
的方式等。

該懸浮抽吸引導單元60經由正壓源64向空氣供給槽62a供給加壓空氣并從貫通
孔61b吹出,同時經由負壓源63向空氣抽吸槽62b施加負壓并從貫通孔61c抽吸空
氣,由此能夠提高在引導面61a上通過的工件W的平面精度。

具體而言,以上的懸浮抽吸引導單元60能夠使用PISCO有限公司制造的AFU1
(精密懸浮型)。

一對曝光單元30實質上為相同結構,一個曝光單元30A(第1曝光單元30)設
置在工件W從多孔圓筒部件41遠離的位置附近,另一個曝光單元30B(第2曝光單
元30)位于懸浮抽吸引導單元60上。

圖3示出曝光單元30(30A和30B)的具體例。曝光單元30具有光源部20,光
源部20由具有相同的內部結構的兩個光源部20a和光源部20b構成。由于光源部20a
和光源部20b為相同結構,所以,以光源部20a為代表進行說明。

光源部20a由UV燈21、第1全反射鏡22、聚光透鏡23、第2全反射鏡24、復
眼透鏡25、光圈(未圖示)構成。光源部20a具有UV燈21,從UV燈21射出從365nm
到440nm的各種波長共存的紫外光。

從UV燈21射出的紫外光通過橢圓反射鏡26向天空方向照射,通過第1全反射
鏡22將朝向改變為水平方向,通過聚光透鏡23會聚,并通過第2全反射鏡24將朝
向改變為地面方向(工件W的方向)。改變了朝向的紫外光成為經過復眼透鏡25和
光圈而被分支為四個光束。光束進一步經由8個第1投影透鏡33和8個反射鏡34,
入射到8個DMD(DigitalMicro-mirrorDevice:數字微鏡設備)元件(光調制元件陣
列)36而成為進行了控制的光束。該進行了控制的光束穿過第2投影透鏡組37,從
而被調整要投影的曝光描繪的倍率,并被照射到工件W。也就是說,作為描繪裝置
的直接曝光裝置100按照預先收納有期望的曝光像的描繪數據,控制光源部20a和光
源部20b的紫外光。

曝光單元30A的曝光區如下確定。如上所述,工件W在從多孔圓筒部件41脫
離后,在懸浮抽吸引導單元60上移動,在多孔圓筒部件41的最上部沿水平切線方向
移動(從多孔圓筒部件41脫離的工件W通過懸浮抽吸引導單元60,將脫離角度調
整為水平)。曝光單元30A的曝光區AE(圖2、圖3、圖6)嚴格來說不是單純的矩
形,但是,這里簡單地通過矩形表現,該矩形將與工件W的輸送方向垂直的方向(工
件W的寬度方向)作為長度方向。而且,如圖6所示,對于該曝光范圍Y,在以多
孔圓筒部件41的軸心41X與切線方向的交點(相交線)S為基準時,將下游側(導
輥14側)的曝光范圍Y2設定為比相交線S的上游側(多孔圓筒部件41的圓筒面側)
的曝光范圍Y1大(Y1<Y2)。

在懸浮抽吸引導單元60上,對工件W進行曝光的曝光單元30B針對通過懸浮抽
吸引導單元60而提高(維持)了平面性的工件W,在曝光區AE(圖2、圖3、圖6)
中進行曝光。該曝光單元30B的曝光范圍Y可以與曝光單元30A的曝光范圍Y相同,
也可以不同。與曝光單元30A的曝光區同樣,曝光單元30B的曝光區AE(圖2、圖
3、圖6)嚴格來說不是單純的矩形,但是,這里簡單地通過矩形表現,該矩形將與
工件W的輸送方向垂直的方向(工件W的寬度方向)作為長度方向。曝光單元30A
和30B對工件W進行曝光的曝光區AE位于同一平面。

圖9示意性地示出兩個曝光區AE中的曝光單元30A和30B的曝光狀態。在圖9
中,由雙點劃線表示的圓C為曝光單元30A和30B的圖3所示的一個第1投影透鏡
33和反射鏡34所占據的光學系統的大小,其中存在利用粗線的矩形描繪出的DMD
(DigitalMicro-mirrorDevice:數字微鏡設備)元件36的實際曝光區R。在圖示例中,
在一個曝光區AE內存在四個實際曝光區R,將包含這四個實際曝光區R的與工件W
的輸送方向垂直的方向的矩形區設為AE。另外,曝光光束在圖3中,分支為八個光
學系統,而在圖9的例子中,分支為四個光學系統。

在該實施方式中,具備一對在工件W的寬度方向隔開的對準相機50。該對準相
機50對預先形成在工件W上的對準標記MA(圖4)進行拍攝從而確定(修正)曝
光單元30A和30B的描繪坐標系。對準相機50用于在工件W相對于曝光輥40(多
孔圓筒部件41)的吸附開始位置處拍攝對準標記MA,吸附開始位置等同于拍攝位置。
而且,對準相機50和曝光單元30A隔著曝光輥40相對配置,并且彼此的光軸隔著
曝光輥40,位于相反的一側的大致鉛垂位置。這里的相對是指對準相機50的拍攝方
向和曝光單元30A的曝光光射出方向彼此面對,但是,這時各自的光軸無需必須處
于同一軸線上,也可以在基板輸送方向上偏移。對準相機50和曝光單元30A優選配
置成其中至少一個的光軸嚴格朝向鉛垂方向。通過這樣配置對準相機50和曝光單元
30A,能夠將對準相機50和曝光單元30A的光學系統保持為最穩定的狀態,能夠獲
得最優的光學性能。

圖4示出工件W上的單位圖案區域AP和對準標記MA、對準相機50以及曝光
單元30A和30B的兩個曝光區AE之間的位置關系。在圖示例子中,相對于一個單
位圖案區域AP(進行一次對準和描繪的范圍),形成有4個(2個×2列)對準標記
MA,對準相機50能夠進行位置調整,使得在相機視野50a的中心處拍攝到對準標記
MA。

另外,對準標記MA的個數和配置根據要描繪的圖案適當進行設定,對準相機
50的個數和配置當然也可以與此相應地被確定。

上述結構的該直接曝光裝置100如下進行動作。供給卷軸10、曝光輥40、卷繞
卷軸11通過伺服系統被準確地進行同步旋轉控制,供給卷軸10所卷繞的工件W經
過導輥12、13、曝光輥40、懸浮抽吸引導單元60、導輥14,被卷繞到卷繞卷軸11。
通過線性刻度45、線性傳感器46準確地檢測曝光輥40的多孔圓筒部件41的旋轉位
置。

當在該工件W的輸送移動中,經由負壓源43和控制器(調節器)44對抽吸凹
部42a施加負壓時,工件W在抽吸區間α處被吸附在多孔圓筒部件41的周面上。即,
從多孔圓筒部件41的最下方的吸附開始位置到最上方的脫離位置之間,工件W被保
持在多孔圓筒部件41的周面上并在圓筒面上移動。吸附開始位置同時是對準相機50
拍攝對準標記MA的位置。工件W的吸附優選以在拍攝位置處必定開始的方式,從
比拍攝位置稍微靠上游側(供給側)的位置起開始。

此外,在工件W的輸送移動中,經由正壓源64向懸浮抽吸引導單元60的空氣
供給槽62a供給加壓空氣并從導板61的貫通孔61b吹出,同時經由負壓源63向空氣
抽吸槽62b施加負壓并從貫通孔61c抽吸空氣。通過該空氣的吹出抽吸,在引導面
61a上通過的工件W的平面精度提高。

而且,當工件W行進,且通過對準相機50拍攝一個單位圖案區域AP的4個
(2個×2列)對準標記MA時,確定該單位圖案區域AP的坐標系。當一個單位圖案
區域AP的對準標記MA的拍攝結束時,連續開始下一個單位圖案區域AP的對準標
記MA的拍攝,確定新的坐標系。

當單位圖案區域AP的四個對準標記MA的拍攝結束時,對準測量部計算測量出
的單位圖案區域AP和所設計的單位圖案區域AP的位置以及尺度誤差(對準)。曝光
控制部根據上述誤差,對描繪數據進行坐標轉換,生成曝光單元30A和30B的校正
描繪數據。

當單位圖案區域AP的前端到達曝光單元30A時,曝光控制部按照校正描繪數據,
對曝光單元30A的DMD元件36進行調制,向工件W上照射圖案光,在工件W的
感光劑層上形成圖案。接著,當單位圖案區域AP的規定位置到達曝光單元30B時,
同樣,曝光控制部按照校正描繪數據,對曝光單元30B的DMD元件36進行調制,
向工件W上照射圖案光,在工件W的感光劑層上形成圖案。通過已知的多重曝光方
法進行該圖案形成。

只要工件W在曝光單元30A的曝光位置處不從多孔圓筒部件41脫離(而被保
持),就能在曝光位置、或者比曝光位置稍微靠上游側(供給側)的位置處解除工件
W向多孔圓筒部件41的吸附。

在以上針對工件W的曝光動作中,被多孔圓筒部件41吸附并移動的工件W能
夠較高保持其進給精度,并能夠通過線性刻度45和線性傳感器46準確地檢測其位置。
而且,由于在以高進給精度送出的工件W從多孔圓筒部件41脫離的位置附近執行利
用曝光單元30A的曝光,所以能夠實現高描繪精度。此外,由于能夠對以高進給精
度送出并通過懸浮抽吸引導單元60維持高平面性的工件W進行利用曝光單元30B
的曝光,所以,同樣能夠實現高描繪精度。

除此以外,在圖示實施方式的曝光單元30A進行的曝光中能夠獲得下述優點。
被多孔圓筒部件41抽吸的工件W呈曲面,但是,如上所述,多孔圓筒部件41上在
面精度(面的平滑性)和工件進給精度的方面優異。因此,在曝光區AE中包含面精
度和進給精度優異的多孔圓筒部件41上的曝光區(范圍Y1)。另一方面,雖然在比
相交線S靠下游側的曝光區(范圍Y2)中,假設工件W為平面,但是,實際上由于
從多孔圓筒部件41脫離,所以隨著從多孔圓筒部件41遠離,平面精度誤差(曝光單
元30A的理想焦點面與曝光區AE的偏差)處于擴大的趨勢。所以,使曝光區AE跨
越相交線S的上游側和下游側。此外,將相交線S的下游側的曝光范圍Y2設定為比
從上游側的曝光范圍Y1大,由此能夠防止實際的焦點深度(從光學系統的焦點深度
中除去曝光區AE的工件W的平面精度誤差而得到)變淺,實現描繪圖案的細線條
化。即,通過使下游側的平面上的曝光范圍Y2比曲面上的曝光范圍Y1大,能夠容
易地在曝光單元30A的焦點深度內描繪圖案。具體而言,優選將下游側的范圍設定
為70%以上,更優選設定為80%以上。具體而言,在曝光范圍Y為10mm時,上游
側的范圍為Y1=2~3mm,下游側的范圍為Y2=8~7mm。

在曝光單元30A和30B進行曝光動作的期間,并行地執行下一個單位圖案區域
AP的對準標記攝像步驟和數據校正步驟。所以,當單位圖案區域AP的曝光結束時,
曝光單元30能夠連續開始下一個單位圖案區域AP的曝光。

為了并行地進行對準標記攝像步驟和數據校正步驟,如圖4所示,考慮到單位圖
案區域AP的大小,使曝光單元30A、30B和對準相機50以單位圖案區域AP的四個
對準標記MA處于兩者之間的方式(以兩者之間的距離比單位圖案區域AP長的方
式),隔開了其位置。本實施方式的曝光單元30A和對準相機50隔著曝光輥40位于
上下,所以即使將曝光輥40小型化,也能夠確保其距離。此外,曝光單元30A和對
準相機50隔著曝光輥40沿鉛垂方向并列配置,所以能夠最高效地利用輥,并能夠提
高工件W的位置對準精度和生產率。

在以上實施方式中,將第1曝光單元30A設置在工件從多孔圓筒部件41脫離的
位置附近,將第2曝光單元30B設置在配置于多孔圓筒部件41的下游的懸浮抽吸引
導單元60上。與此相對,圖5是使單一的曝光單元30的曝光區AE跨越工件從多孔
圓筒部件41脫離的位置和懸浮抽吸引導單元60上的位置的實施方式。這樣,能夠通
過使曝光單元30對工件W進行曝光的曝光區的至少一部分位于懸浮抽吸引導單元
60上,確保了曝光區的平面性,并且能夠通過使用曝光輥的高工件進給精度,實現
高描繪精度。

并且,如上所述,能夠省略以上實施方式中的一對曝光單元30A、30B中的下游
側的曝光單元30B和懸浮抽吸引導單元60。圖10、圖11示出在圖1、圖2中省略了
曝光單元30B和懸浮抽吸引導單元60的實施方式。在該實施方式中,導輥14構成
工件W的切線方向引導單元。即,工件W在從多孔圓筒部件41脫離后,隨著導輥
14,在多孔圓筒部件41的最上部沿水平切線(切平面)方向移動(從多孔圓筒部件
41脫離的工件W通過導輥(引導單元)14將脫離角度調整為水平)。而且,根據該
實施方式,能夠使曝光輥40(圓筒部件)的切線(切平面)方向的平面區包含在上
游側的曝光單元30A的曝光區中,并能夠使曝光圖像的焦點對準區比以往的曝光輥
型的直接曝光裝置寬。該特征為第1實施方式也具有的特征。另外,在圖10、圖11
的實施方式中,在圖3、圖4、圖6和圖9中描繪了一對的曝光區AE僅為基于曝光
單元30A的一個曝光區AE。

根據該圖10、圖11的實施方式,能夠抑制曝光輥40的直徑,同時高精度地進
行工件W的對準和描繪位置的校正,并且能夠使曝光圖像的焦點對準區比以往的曝
光輥型的直接曝光裝置寬。其結果是,可獲得比以往的直接曝光裝置節省空間且能夠
進行高精度的處理的曝光裝置。

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