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一種膠框固化掩膜版及其制備方法.pdf

摘要
申請專利號:

CN201510875675.5

申請日:

2015.12.03

公開號:

CN105319780A

公開日:

2016.02.10

當前法律狀態:

實審

有效性:

審中

法律詳情: 實質審查的生效IPC(主分類):G02F 1/1339申請日:20151203|||公開
IPC分類號: G02F1/1339 主分類號: G02F1/1339
申請人: 武漢華星光電技術有限公司
發明人: 趙凱祥; 宋濤
地址: 430070湖北省武漢市東湖開發區高新大道666號生物城C5棟
優先權:
專利代理機構: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司44304 代理人: 孫偉峰; 黃進
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201510875675.5

授權公告號:

|||

法律狀態公告日:

2016.03.09|||2016.02.10

法律狀態類型:

實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種膠框固化掩膜版,其特征在于,包括玻璃基板,所述玻璃基板上劃分有透光區域和遮光區域;其中,所述遮光區域上設置有遮光材料,所述遮光材料為至少添加有黑色素材料的配向膜材料。其制備方法包括:S1、配制遮光材料溶液:將黑色素材料添加到配向膜材料溶液中,攪拌混合;S2、提供玻璃基板以及配向膜涂布設備,應用所述配向膜涂布設備將所述遮光材料溶液涂布到所述玻璃基板上;S3、對涂布到所述玻璃基板上的遮光材料溶液進行烘烤固化,獲得所述膠框固化掩膜版。

權利要求書

1.一種膠框固化掩膜版,其特征在于,包括玻璃基板,所述玻璃基板上
劃分有透光區域和遮光區域;其中,所述遮光區域上設置有遮光材料,所述
遮光材料為至少添加有黑色素材料的配向膜材料。
2.根據權利要求1所述的膠框固化掩膜版,其特征在于,所述玻璃基板
上陣列設置有多個所述遮光區域,多個所述遮光區域被所述透光區域間隔。
3.根據權利要求1或2所述的膠框固化掩膜版,其特征在于,所述遮光材
料為添加有黑色素材料的配向膜材料,所述黑色素材料與所述配向膜材料的
體積比為1:1~10。
4.根據權利要求3所述的膠框固化掩膜版,其特征在于,所述配向膜材
料為聚酰亞胺。
5.根據權利要求3所述的膠框固化掩膜版,其特征在于,所述黑色素材
料為炭黑或四氧化三鐵。
6.根據權利要求5所述的膠框固化掩膜版,其特征在于,所述炭黑的平
均粒徑為10~50nm,比表面積為70~150m2/g。
7.一種如權利要求1-6任一所述的膠框固化掩膜版的制備方法,其特征在
于,包括:
S1、配制遮光材料溶液:將黑色素材料添加到配向膜材料溶液中,攪拌
混合;
S2、提供玻璃基板以及配向膜涂布設備,應用所述配向膜涂布設備將所
述遮光材料溶液涂布到所述玻璃基板上;
S3、對涂布到所述玻璃基板上的遮光材料溶液進行烘烤固化,獲得所述
膠框固化掩膜版。
8.根據權利要求7所述的膠框固化掩膜版的制備方法,其特征在于,所
述配向膜涂布設備包括噴嘴、滾筒和刮刀,將所述遮光材料溶液涂布到所述
玻璃基板上的步驟具體包括:
S21、提供一配向膜印刷版,將所述配向膜印刷版嵌套在所述滾筒的外周;
S22、轉動所述滾筒,通過所述噴嘴將所述遮光材料溶液噴涂在所述配向
膜印刷版上;采用所述刮刀刮平噴涂在所述配向膜印刷版上的遮光材料溶液,
并去除多余的遮光材料溶液;
S23、將所述滾筒在所述玻璃基板上滾動,使所述配向膜印刷版上的遮光
材料溶液涂布到所述玻璃基板上。

關 鍵 詞:
一種 固化 掩膜版 及其 制備 方法
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本文標題:一種膠框固化掩膜版及其制備方法.pdf
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