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一種制作金屬網柵的工藝.pdf

摘要
申請專利號:

CN201410229387.8

申請日:

2014.05.27

公開號:

CN105319836A

公開日:

2016.02.10

當前法律狀態:

撤回

有效性:

無權

法律詳情: 發明專利申請公布后的視為撤回IPC(主分類):G03F 7/00申請公布日:20160210|||公開
IPC分類號: G03F7/00; G03F7/16; G03F7/20; G03F7/26; H01L21/768 主分類號: G03F7/00
申請人: 無錫嘉美達橡塑設備有限公司
發明人: 張芳芳
地址: 214000江蘇省無錫市惠山區惠山經濟開發區洛社配套區Y區無錫嘉美達橡塑設備有限公司
優先權:
專利代理機構: 北京品源專利代理有限公司11332 代理人: 徐鵬飛
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201410229387.8

授權公告號:

|||

法律狀態公告日:

2018.01.12|||2016.02.10

法律狀態類型:

發明專利申請公布后的視為撤回|||公開

摘要

本發明涉及微電子制造技術領域,尤其涉及一種制作金屬網柵的工藝。本發明包括:步驟1、在襯底材料上涂覆光刻膠,用甩膠機甩膠,甩膠機工作的轉速設置兩組不同的轉速;步驟2、用烘干機對甩膠后的襯底材料在加熱箱中加熱,加熱溫度為105℃-115℃,加熱時間為3mins-5mins;步驟3、用曝光機對加熱后的襯底材料進行曝光;步驟4、用與所述光刻膠配套的顯影液對曝光后的襯底材料進行顯影,顯影時間為80s-100s;步驟5、用加熱箱對顯影后的襯底材料進行加熱,加熱溫度為110℃,加熱時間為5mins-10mins;步驟6、用刻蝕機進行干法刻蝕。本發明所述的工藝能夠制作出較高精細度的金屬網柵圖形。

權利要求書

1.一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,包括:
步驟1、在襯底材料上涂覆光刻膠,用甩膠機甩膠,甩膠機工作的轉速設
置兩組不同的轉速;
步驟2、用烘干機對甩膠后的襯底材料在加熱箱中加熱,加熱溫度為
105℃-115℃,加熱時間為3mins-5mins;
步驟3、用曝光機對加熱后的襯底材料進行曝光;
步驟4、用與所述光刻膠配套的顯影液對曝光后的襯底材料進行顯影,顯
影時間為80s-100s;
步驟5、用加熱箱對顯影后的襯底材料進行加熱,加熱溫度為110℃,加
熱時間為5mins-10mins;
步驟6、用刻蝕機進行干法刻蝕。
2.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟1的兩組不同的轉速分別為,第一組轉速為800r/min,旋轉時間為30s;
第二組轉速為6500r/min,旋轉時間為60s。
3.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟1涂覆光刻膠的量占襯底材料面積的2/3。
4.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟3曝光機的工作波長為365nm的紫外光。
5.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟4顯影方式為用鑷子夾住所述曝光后的襯底材料在盛有顯影液的燒杯中順
時針攪拌。
6.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
襯底材料由硅片和通過離子濺射技術濺射在硅片上的金屬膜組成。
7.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟1之前還包括對襯底材料進行預加熱,加熱溫度為110℃,加熱時間為
3mins。
8.根據權利要求1所述的一種制作金屬網柵的工藝,其特征在于,所述
步驟3的曝光時間為2s,曝光間隙為2um。

關 鍵 詞:
一種 制作 金屬網 工藝
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