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剝離液組合物、使用了該剝離液組合物的樹脂層的剝離方法.pdf

摘要
申請專利號:

CN200880118038.1

申請日:

2008.10.17

公開號:

CN101878452B

公開日:

2015.01.07

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||專利申請權的轉移IPC(主分類):G03F 7/42變更事項:申請人變更前權利人:漢高公司變更后權利人:漢高美國知識產權有限責任公司變更事項:地址變更前權利人:美國康涅狄格州變更后權利人:美國康涅狄格州登記生效日:20140827|||專利申請權的轉移IPC(主分類):G03F 7/42變更事項:申請人變更前權利人:漢高美國知識產權有限責任公司變更后權利人:漢高知識產權及控股有限公司變更事項:地址變更前權利人:美國康涅狄格州變更后權利人:德國杜塞爾多夫登記生效日:20140827|||實質審查的生效IPC(主分類):G03F 7/42申請日:20081017|||公開
IPC分類號: G03F7/42; H01L21/027; H01L21/304 主分類號: G03F7/42
申請人: 漢高知識產權及控股有限公司
發明人: 金成正夫; 佐口琢哉
地址: 德國杜塞爾多夫
優先權: 2007.10.17 JP 2007-270273
專利代理機構: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 代理人: 王健
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法律狀態
申請(專利)號:

CN200880118038.1

授權公告號:

101878452B||||||||||||

法律狀態公告日:

2015.01.07|||2014.09.17|||2014.09.17|||2010.12.15|||2010.11.03

法律狀態類型:

授權|||專利申請權、專利權的轉移|||專利申請權、專利權的轉移|||實質審查的生效|||公開

摘要

提供剝離液組合物,其對濾色器、光刻膠、罩面層等樹脂層的剝離性優異,兼具對于金屬配線等包含金屬類的構件的防蝕作用。該剝離液組合物含有鏈烷醇胺類、芳香族醇類和防蝕劑。

權利要求書

1.剝離液組合物,其用于剝離樹脂層,含有鏈烷醇胺類、芳香族醇類和防蝕劑的組合。2.權利要求1所述的剝離液組合物,其特征在于,還含有水。3.權利要求1或2所述的剝離液組合物,其特征在于,所述鏈烷醇胺類含有選自單乙醇胺、異丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺和2-(2-氨基乙氧基)乙醇中的至少1種。4.權利要求1~3任一項所述的剝離液組合物,其中,所述芳香族醇類含有選自芐醇、苯乙醇和羥基芐醇中的至少一種。5.權利要求1~4任一項所述的剝離液組合物,其中,所述防蝕劑含有選自苯并三唑系化合物、芳香族羥基化合物、含有巰基的化合物、糖類、硼酸及其鹽、硅酸鹽中的至少1種。6.權利要求1~5任一項所述的剝離液組合物,其中,所述鏈烷醇胺類在所述剝離液組合物中所占的比例為5~70質量%,所述芳香族醇類在所述剝離液組合物中所占的比例為5~80質量%,所述防蝕劑在所述剝離液組合物中所占的比例為0.01~10質量%,所述水在所述剝離液組合物中所占的比例為0~60質量%。7.權利要求1~6任一項所述的剝離液組合物,其中,所述樹脂層包含選自濾色層、光刻膠層和罩面層、樹脂間隔層、取向膜層中的至少1種的層。8.權利要求1~7任一項所述的剝離液組合物,其中,所述樹脂層為在包含金屬類的構件上形成的層。9.權利要求8所述的剝離液組合物,其中,所述金屬為包含Cu和Al的至少一種的金屬。10.權利要求8所述的剝離液組合物,其中,所述構件選自配線、反射膜和遮光層。11.權利要求7所述的剝離液組合物,其中,所述樹脂層為正型或負型光刻膠層。12.樹脂層的剝離方法,其具有使權利要求1~11任一項所述的剝離液組合物與樹脂層接觸的工序。13.制造物,其通過具有權利要求12的剝離方法作為1個工序的制造方法制造。

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剝離 組合 使用 樹脂 方法
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