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硅片制絨專用承載裝置.pdf

摘要
申請專利號:

CN201010262793.6

申請日:

2010.08.26

公開號:

CN101980375B

公開日:

2015.01.07

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):H01L 31/18申請日:20100826|||公開
IPC分類號: H01L31/18 主分類號: H01L31/18
申請人: 常州億晶光電科技有限公司
發明人: 屈瑩; 劉志剛
地址: 213200 江蘇省金壇市堯塘鎮金武路18號
優先權:
專利代理機構: 代理人:
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201010262793.6

授權公告號:

101980375B||||||

法律狀態公告日:

2015.01.07|||2012.11.07|||2011.02.23

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

一種硅片制絨專用承載裝置,包括左右柵板,柵板由上框桿、左側桿、右側桿、隔槽板和下框桿組成,上框桿、左側桿、右側桿和下框桿牢固地連接成一個柵板框,隔槽板平行于左側桿和右側桿分布在柵板框內,使柵板上形成若干條等間距豎直分布硅片插槽;在左側桿、右側桿和隔槽板上都設有設有透液孔,沿高度方向設有硅片限位桿孔,在硅片限位桿孔中穿插有限位桿;在每個硅片插槽中至少設有一只彈性壓片,硅片插槽中插有硅片時,彈性壓片能壓迫硅片的側面。它既能有效克服硅片在硅片插槽中的轉卡現象,最大限度地減少硅片在制絨生產過程中碎片率,又能解決硅片在左右兩側面制絨不均問題。

權利要求書

1: 一種硅片制絨專用承載裝置, 它由左柵板 (1)、 右柵板 (2)、 前擋板 (3) 和后擋板 (4) 圍合而成, 在左柵板 (1) 和右柵板 (2) 的上端對稱地安裝有上托架 (5), 在左柵板 (1) 和右 柵板 (2) 的內側面的下端固定有下托架 (6) ; 左柵板 (1) 與右柵板 (2) 的結構相同, 在右柵 板 (2) 的內側壁上豎直地開設有硅片插槽 (7), 在上托架 (5) 和下托架 (6) 上都設有硅片插 槽 (7), 且上托架 (5) 和下托架 (6) 上設有的硅片插槽 (7) 與柵板上設有的硅片插槽 (7) 相 對應, 其特征是, 所述柵板由上框桿 (21)、 左側桿 (22)、 右側桿 (23)、 隔槽板 (24) 和下框桿 (25) 組成, 上框桿 21、 左側桿 22、 右側桿 23 和下框桿 (25) 牢固地連接成一個柵板框, 隔槽 板 (24) 平行于左側桿 (22) 和右側桿 (23), 并分布在柵板框內, 使柵板上形成若干條等間距 豎直分布硅片插槽 (7) ; 在左側桿 (22)、 右側桿 (23) 和隔槽板 (24) 上都設有透液孔 (26), 沿高度方向設有硅片限位桿孔 (27), 在硅片限位桿孔 (27) 中穿插有限位桿 (8)。
2: 根據權利要求 1 所述硅片制絨專用承載裝置, 其特征是 : 在每個硅片插槽 (7) 中至 少設有一只彈性壓片 (9), 彈性壓片 (9) 套裝在限位桿 (8) 上, 在硅片插槽 (7) 中插有硅片 時, 彈性壓片 (9) 能壓迫硅片的側面。

關 鍵 詞:
硅片 專用 承載 裝置
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